Утвержден национальный стандарт ГОСТ Р 71994-2025 «Системы подготовки воды для электронной отрасли». Дата ввода в действие – с 1 ноября 2025г.
В стандарте содержатся сведения, необходимые для успешного проектирования системы водоподготовки (СВ) для получения ультрачистой воды (УЧВ). Приведен перечень, описание и особенности технологии водоподготовки, которые пригодны для этой цели. Введена классификация деминерализованной воды, используемой в различных технологических процессах производства электронной техники. Сформулированы принципы выбора материалов для СВ и расходных материалов. Представлены примеры схем СВ для получения разного типа ультрачистой воды, а также примеры систем распределения УЧВ. Отдельно рассматриваются вопросы отбора проб УЧВ.
Полный аналог данному стандарту за рубежом отсутствует. Наиболее близкие стандарты: АSTM D5127-13 Re 2018 «Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries.», а также серия стандартов SEMI F61-0617 Guide to design and operation of a semiconductor Ultrapure water system, SEMI F63-0918 «Guide for ultrapure water used in semiconductor processing». Указанные стандарты, рассчитаны на микроэлектронную индустрию США и Азиатско-Тихоокеанский региона, без учета особенностей отечественной промышленности.
В системе ISO подобные стандарты отсутствуют.
С полным текстом стандарта можно ознакомиться по ссылке