На фоне восстановления производства микроэлектронной промышленности в России на данный момент отсутствуют современные стандарты качества воды на русском языке. Последний опубликованный норматив ОСТ 11.029.003-80 (с изменениями 1) устарел и не совместим даже со 180 нм технологией.
В связи с этим, встает вопрос о национальном стандарте, в котором была бы приведена классификация ультрачистой воды, пригодной для современного массового электронного производства, а также приведен обзор схем ее получения, хранения и распределения. Такой стандарт может стать отправной точкой серии стандартов по воде для микроэлектроники в России, которые регламентируют методы аналитического контроля, выбора материалов, организации производства ультрачистой воды для промышленного и опытного производства микро- и оптоэлектроники. Специалисты компании АО «НПК МЕДИАНА-ФИЛЬТР» предложили проект такого национального стандарта, как ответ на зов времени производства микроэлектронной техники в России.
В проекте стандарта содержатся сведения, необходимые для успешного проектирования системы водоподготовки (СВ) для получения ультрачистой воды (УЧВ). Приведен перечень, описание и особенности технологии водоподготовки, которые пригодны для этой цели. Введена классификация деминерализованной воды, используемой в различных технологических процессах производства электронной техники. Сформулированы принципы выбора материалов для СВ и расходных материалов. Представлены примеры схем СВ для получения разного типа ультрачистой воды, а также примеры систем распределения УЧВ. Отдельно рассматриваются вопросы отбора проб УЧВ.
Полный аналог данному стандарту за рубежом отсутствует. Наиболее близкие стандарты: АSTM D5127-13 Re 2018 «Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries.», а также серия стандартов SEMI F61-0617 Guide to design and operation of a semiconductor Ultrapure water system, SEMI F63-0918 «Guide for ultrapure water used in semiconductor processing». Указанные стандарты рассчитаны на микроэлектронную индустрию США и Азиатско-Тихоокеанский региона, без учета особенностей отечественной промышленности.
В системе ISO подобные стандарты отсутствуют.